• fotolitografija (žuta soba 1 614, žuta soba 2 602b)
• planarne tehnologije 612
• MEMS tehnologije/mikromašinstvo 614
• tankoslojne tehnologije 614

Laboratorija za planarne i MEMS tehnologije je centralna tehnološka laboratorija Centra za mikroelektronske tehnologije i služi za izradu mikročipova od koncepta do gotovog proizvoda. Sastoji se od nekoliko celina koje se međusobno nadopunjuju i čine kompleksni tehnološki lanac.

1. Dizajn i izrada fotolitografskih maski

 

2. Oksidacija i difuzija

 

3. Deponovanje tankih slojeva

 

6. Nagrizanje silicijuma i formiranje membrane (mikromašinstvo)

 

7. Sečenje silicijumskih pločica na čipove

 

8. Montaža čipova na kućište

 

9. Karakterizacija senzora