• фотолитографија (жута соба 1 614, жута соба 2 602б)
• планарне технологије 612
• МЕМС технологије/микромашинство 614
• танкослојне технологије 614

Лабораторија за планарне и МЕМС технологије је централна технолошка лабораторија Центра за микроелектронске технологије и служи за израду микрочипова од концепта до готовог производа. Састоји се од неколико целина које се међусобно надопуњују и чине комплексни технолошки ланац.

1. Дизајн и израда фотолитографских маски

 

2. Оксидација и дифузија

 

3. Депоновање танких слојева

 

6. Нагризање силицијума и формирање мембране (микромашинство)

 

7. Сечење силицијумских плочица на чипове

 

8. Монтажа чипова на кућиште

 

9. Карактеризација сензора